ICS 31.200 L55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 26111—2010 微机电系统（MEMS）技术 术语 Micro-electromechanical system technology-Terms 2011-01-10发布 2011-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 26111—2010 目 次 前言 II 1 范围 规范性引用文件 2 3 术语和定义 3. 1 综合性术语 3.2 科学与工程术语 3. 3 与材料相关的术语 3. 4 与设计相关的术语 3.5 与加工工艺相关的术语 3.6 封装与组装术语 10 3.7 测量技术术语 13 3.8 与器件相关的术语 15 参考文献 22 索引 23 汉语拼音索引 23 英文对应词索引 27 GB/T 26111—2010 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）提出并归口。 本标准主要起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通 大学、中北大学。 本标准主要起草人：丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波。
GB-T 26111-2010 微机电系统 MEMS 技术 术语
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