(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221661739.3 (22)申请日 2022.06.29 (73)专利权人 广州富乐德科技发展 有限公司 地址 510000 广东省广州市黄埔区(中新广 州知识城)亿创街1号 406房之397 (72)发明人 惠朝先　汤高　 (74)专利代理 机构 广州立凡知识产权代理有限 公司 44563 专利代理师 肖嘉 (51)Int.Cl. B05B 13/02(2006.01) B05B 12/20(2018.01) C04B 41/81(2006.01) (54)实用新型名称 一种集成电路蚀刻设备中陶瓷片部品的熔 射保护治具 (57)摘要 本实用新型公开了一种集成电路蚀刻设备 中陶瓷片部品的熔射保护治具， 包括治具板， 所 述治具板的下端活动连接设置有配合板， 所述治 具板上端的前后两侧均排列设置有六个圆形凹 槽， 所述前后两个圆形凹槽 之间贯穿设置有通卡 槽， 所述圆形凹槽内侧的中间处上下贯穿设置有 通孔， 所述圆形凹槽内插装设置有配合环， 所述 治具板下端的四个端角处均连接设置有伸张弹 簧。 本实用新型通过在治具板的上端排列设置十 二个圆形凹槽， 前后两个圆形凹槽之间贯穿设置 通卡槽， 先将配合环下端前后两侧的配合块卡装 在通卡槽 上， 再将通孔位置贴敷一层符合熔射使 用规范的耐高温双面胶带， 然后将陶瓷片黏附在 治具的凹通 孔内部位置中。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217856847 U 2022.11.22 CN 217856847 U 1.一种集成电路蚀刻设备中陶瓷片部品的熔射保护治具， 包括治具板(1)， 其特征在 于： 所述治具板(1)的下端活动连接设置有配合板(6)， 所述治 具板(1)上端的前后两侧均排 列设置有 六个圆形凹槽(5)， 所述前后两个圆形凹槽(5)之间贯穿设置有通卡槽(8)， 所述圆 形凹槽(5)内侧的中间处上下贯穿设置有通孔(10)， 所述圆形 凹槽(5)内插装设置有配合环 (2)， 所述治具板(1)下端的四个端角处均连接设置有伸张弹簧(4)， 所述配合板(6)上端的 前后两侧均排列固定焊接有六个顶销(7)。 2.根据权利要求1所述的一种集成电路蚀刻设备中陶瓷片部品的熔射保护治具， 其特 征在于： 所述配合环(2)下端的前后两侧均固定焊接有配合 块(9)。 3.根据权利要求1所述的一种集成电路蚀刻设备中陶瓷片部品的熔射保护治具， 其特 征在于： 所述配合环(2)插 装位于圆形凹槽(5)内。 4.根据权利要求1所述的一种集成电路蚀刻设备中陶瓷片部品的熔射保护治具， 其特 征在于： 所述配合环(2)下端前后两侧的配合 块(9)插装位于通 卡槽(8)内。 5.根据权利要求1所述的一种集成电路蚀刻设备中陶瓷片部品的熔射保护治具， 其特 征在于： 所述治具板(1)和配合板(6)之间通过四个伸张弹簧(4)连接 。 6.根据权利要求1所述的一种集成电路蚀刻设备中陶瓷片部品的熔射保护治具， 其特 征在于： 十二个所述 通孔(10)和十二个顶销(7)一 一对应配合。 7.根据权利要求1所述的一种集成电路蚀刻设备中陶瓷片部品的熔射保护治具， 其特 征在于： 所述治具板(1)的两侧均固定焊接有 按压板(3)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217856847 U 2一种集成电路蚀刻设 备中陶瓷片部品的熔射 保护治具 技术领域 [0001]本实用新型涉及熔射保护治具技术领域， 具体为一种集成电路蚀刻设备 中陶瓷片 部品的熔射保护治具。 背景技术 [0002]在集成电路设备腔室中会用到各种材质、 各种结构的设备部件， 如金属材质的结 构部件， 大多 数对设备腔室具有良好的结构强度或防护作用， 习惯称之为防着板， 而陶瓷材 质的结构部件， 主要是具有良好的绝缘性能和耐刻蚀性能， 通常会采用陶瓷熔射的方式提 高其使用寿命以及耐刻蚀性能， 熔射基本原理是将材料加热或熔化， 在气体带送高速下冲 击附着于底材表 面、 堆积、 凝固形成膜厚或涂层， 达到防腐蚀、 防锈、 耐磨、 润滑、 表 面粗糙化 的目的。 [0003]但是， 现有的陶瓷片部品质地较轻， 在气流和粒子流的冲击熔射过程中容易出现 的移动或掉落风险， 进而引起的产品损坏问题； 因此， 不满足现有的需求， 对此我们提出了 一种集成电路蚀刻设备中陶瓷片部品的熔射保护治具。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种集成电路蚀刻设备中陶瓷片部品的熔射保护治 具， 以解决上述背景技术中提出的陶瓷片 部品熔射过程中发生的移动或掉落风险引起的产 品损坏等问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种集成电路蚀刻设备中陶瓷 片部品的熔射保护治 具， 包括治 具板， 所述治具板的下端活动连接 设置有配合板， 所述治 具 板上端的前后两侧均排列设置有 六个圆形 凹槽， 所述前后两个圆形凹槽之 间贯穿设置有通 卡槽， 所述圆形凹槽内侧的中间处上下贯穿设置有通孔， 所述圆形凹槽内插装设置有配合 环， 所述治具板下端的四个端角处均连接设置有伸张弹簧， 所述配合板上端的前后两侧均 排列固定焊接有六个顶销。 [0006]优选的， 所述配合环下端的前后两侧均固定焊接有配合 块。 [0007]优选的， 所述配合环插 装位于圆形凹槽内。 [0008]优选的， 所述配合环下端前后两侧的配合 块插装位于通 卡槽内。 [0009]优选的， 所述治具板和配合板之间通过四个伸张弹簧连接 。 [0010]优选的， 十二个所述 通孔和十二个顶销一 一对应配合。 [0011]优选的， 所述治具板的两侧均固定焊接有 按压板。 [0012]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果是： [0013]1、 本实用新型通过在治具板的上端排列设置十二个圆形凹槽， 前后两个圆形凹槽 之间贯穿设置通卡槽， 先将配合环下端前后两侧的配合块卡装在通卡槽上， 再将通孔位置 贴敷一层符合熔射使用规范的耐 高温双面胶带， 然后 将陶瓷片黏附在治 具的凹通孔内部位 置中， 圆形凹槽四周固定安装的配合环可以防止陶瓷片在熔射气流或粒子流影响下向四周说　明　书 1/3 页 3 CN 217856847 U 3