(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222210740.0 (22)申请日 2022.08.23 (73)专利权人 大连地拓 重工有限公司 地址 116000 辽宁省大连市普 兰店16号区 海湾工业区 (72)发明人 胡振军　刘国东　尤健　 (51)Int.Cl. F16F 15/03(2006.01) F16F 15/04(2006.01) F16F 15/08(2006.01) F16M 11/22(2006.01) (54)实用新型名称 一种基于磁浮的主被动防微振基座 (57)摘要 本实用新型提供一种基于磁浮的主被动防 微振基座， 包括顶板和底座， 所述底座顶部连接 有电磁体， 所述电磁体呈 “山”型结构， 所述电磁 体的中间柱体缠绕有线圈， 所述顶板底部连接有 永磁体， 所述底座顶部四角电磁体的外侧分别安 装有支柱， 所述支柱顶部连接有金属弹簧， 所述 金属弹簧顶部连接有垫块， 所述垫块顶部与顶板 底部连接， 所述顶板顶部连接有橡胶板， 所述橡 胶板顶部连接有面板， 所述顶板底部安装有位置 传感器和速度传感器， 所述底 座顶部安装有控制 器。 本实用新型面板采用铝合金材质可以很好的 屏蔽磁场泄露； 通过橡胶板、 垫板和金属弹簧实 现垂向高频被动隔振； 通过控制线圈磁场强弱实 现磁浮驱动， 从而实现低频主动隔振。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 218094035 U 2022.12.20 CN 218094035 U 1.一种基于磁浮的主被动防微振基座， 包括顶板和底座， 其特征在于， 所述底座顶部连 接有电磁体， 所述电磁体呈 “山”型结构， 所述电磁体的中间柱体缠绕有线圈， 所述顶板底部 连接有永磁体， 所述底座顶部四角电磁体的外侧分别安装有支柱， 所述支柱顶部连接有金 属弹簧， 所述金属弹簧顶部连接有垫块， 所述垫块顶部与 顶板底部连接， 所述顶板顶部连接 有橡胶板， 所述橡胶板顶部连接有面板， 所述顶板底部安装有位置传感器和速度传感器， 所 述底座顶部安装有控制器。 2.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的主被动防微振基座， 其特征在于， 所述顶板、 底座均由不锈钢板制成矩形 结构。 3.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的主被动防微振基座， 其特征在于， 所述面板由 铝合金板制成矩形 结构。 4.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的主被动防微振基座， 其特征在于， 所述垫块为 橡胶垫块。 5.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的主被动防微振基座， 其特征在于， 所述橡胶板 内部呈蜂窝结构。 6.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的主被动防微振基座， 其特征在于， 所述控制器 通过电缆与位置传感器、 速度传感器、 线圈连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218094035 U 2一种基于磁浮的主被动防微振基座 技术领域 [0001]本实用新型 涉及隔振 装置技术领域， 具体是一种基于磁浮的主被动防微振基座。 背景技术 [0002]目前半导体行业飞速发展， 半导体生产设备的精度要求越来越高， 设备对微振动 等环境的要求也越来越敏感， 少许的微振动就会降低设备 的产出良率， 甚至使设备不能正 常工作， 因此对微振动的隔离变得越来越重要。 [0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度 与超精密加工装备制 造精度的关键因素之一， 高性能精密 隔微振技术成为精密工程、 超精 密制造等领域的一项 核心关键技 术， 对该技 术的研究具有重要的实际意 义与应用价 值。 [0004]在EUV等光刻 机中， 运动台都是处在真空环境中， 而目前市场上常用的气 浮型隔振 器排放的气体会污染真空环境， 而单一的磁浮隔振器存在隔振带窄， 定位 不够精确等问题。 实用新型内容 [0005]实用新型的目的在于提供一种基于磁浮的主被动防微振基座， 以解决上述背景技 术中存在的问题。 [0006]本实用新型的技 术方案是这样实现的： [0007]一种基于磁浮的主被动防微振基座， 包括顶板和底座， 所述底座顶部连接有电磁 体， 所述电磁体呈 “山”型结构， 所述电磁体的中间柱体缠绕有线圈， 所述顶板底部连接有永 磁体， 所述底座顶部四角电磁体的外侧分别安装有支柱， 所述支柱顶部连接有 金属弹簧， 所 述金属弹簧顶部连接有垫块， 所述垫块顶部与 顶板底部连接， 所述顶板顶部连接有橡胶板， 所述橡胶板顶部连接有面板， 所述顶板底部安装有位置传感器和速度传感器， 所述底座顶 部安装有控制器。 [0008]进一步地， 所述顶板、 底座均由不锈钢板制成矩形 结构。 [0009]进一步地， 所述面板由铝合金板制成矩形 结构。 [0010]进一步地， 所述垫块 为橡胶垫块。 [0011]进一步地， 所述橡胶板内部呈蜂窝结构。 [0012]进一步地， 所述控制器通过电缆与位置传感器、 速度传感器、 线圈连接 。 [0013]本实用新型的有益效果 为： [0014]本实用新型面板采用铝合金材质可以很好的屏蔽磁场泄露； 通过橡胶板、 垫板和 金属弹簧实现垂向高频被动隔振； 通过控制线圈磁场 强弱实现磁浮驱动， 从而实现低频主 动隔振。 本实用新型结构简单， 稳定性高， 定位精确， 隔振带宽， 对0.5Hz~150Hz的振动干扰 具有较好的隔振效果， 适用范围较广。 附图说明 [0015]图1为本实用新型的结构示 意图。说　明　书 1/2 页 3 CN 218094035 U 3