(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211159728.X (22)申请日 2022.09.22 (71)申请人 安徽禾臣新材 料有限公司 地址 238200 安徽省马鞍山市和县经济开 发区姥下河东路标准 化厂房1号厂房 (72)发明人 李加海　杨慧明　李元祥　 (74)专利代理 机构 北京和联顺知识产权代理有 限公司 1 1621 专利代理师 丁国栋 (51)Int.Cl. B24B 29/06(2006.01) B24B 27/02(2006.01) B24B 55/06(2006.01) B24B 41/06(2012.01) G10K 11/16(2006.01) (54)发明名称 一种基于石英基板材料的抛光工艺 (57)摘要 本发明公开了一种基于石英基板材料的抛 光工艺， 属于抛光设备技术领域， 包括一种抛光 装置， 抛光装置包括抛光台、 可调 式抛光机构和 隔音遮挡外罩， 包括如下步骤： 将石英基板材料 放置在抛光台上， 使隔音遮挡外罩位于可调式抛 光机构的外围； 可调 式抛光机构调整抛光位置， 利用可调式抛光机构对石英基板材料进行贴合 抛光。 为了解决易碰伤操作人员， 且污染环 境， 不 能保证抛光轮始终贴合抛光， 其抛光效果差的问 题， 本发明的基于石英基板材料的抛光工艺， 避 免废料四溅及污染环境， 减少操作人员被碰伤事 件的发生， 减小抛光噪音， 利用可调式抛光机构 对石英基板材料进行贴合抛光， 对于不平整面， 抛光轮可适用， 其 适用范围广， 其抛光效果 好。 权利要求书2页 说明书5页 附图9页 CN 115415922 A 2022.12.02 CN 115415922 A 1.一种基于石英基板材料的抛光工艺， 包括一种抛光装置， 抛光装置包括抛光台(1)、 可调式抛光机构(2)和隔音遮挡外罩(3)， 其特征在于， 所述抛光台(1)的上表 面设置有可调 式抛光机构(2)， 所述可调式抛光机构(2)的外围设置有隔音遮挡外罩(3)， 所述隔音遮挡外 罩(3)放置在抛光台(1)上； 所述隔音遮挡外罩(3)包括遮挡罩体(31)、 隔音棉(32)和防火棉(33)， 所述遮挡罩体 (31)的内侧端面设置有隔音棉(32)， 所述隔音棉(32)上设置有防火棉(3 3)； 基于石英基板材 料的抛光工艺包括如下步骤： 将石英基板材料放置在 抛光台(1)上， 将隔音遮挡外罩(3)放置在抛光 台(1)上， 且使隔 音遮挡外罩(3)位于可调式抛光机构(2)的外围； 石英基板材料放置在抛光台(1)上后， 可调式抛光机构(2)调整抛光位置， 利用可调式 抛光机构(2)对石英基板材 料进行贴合抛光。 2.如权利要求1所述的一种基于石英基板材料的抛光工艺， 其特征在于， 所述可调式抛 光机构(2)包括支撑支架(21)、 液压缸(22)和滑动基板(23)， 所述支撑支架(21)安装在抛光 台(1)的上表 面上， 所述支撑支架(21)的顶部安装有液压缸(22)， 所述液压缸(22)的活塞 杆 连接有滑动基板( 23)， 所述滑动基板( 23)的两端均嵌在支撑支架( 21)上， 所述支撑支架 (21)上设置有供滑动基板(23)竖向移动的导向滑槽(211)， 所述滑动基板(23)和导向滑槽 (211)适配。 3.如权利要求2所述的一种基于石英基板材料的抛光工艺， 其特征在于， 所述可调式抛 光机构(2)还包括横移支座(24)、 驱动轴杆(25)、 驱动电机(26)、 驱动齿轮(27)和传动齿条 (28)， 所述横移支座(24)活动连接在滑动基板(23)上， 所述横移支座(24)上设置有驱动轴 杆(25)， 所述驱动轴杆(25)通过轴承安装在横移支座(24)上， 且驱动轴杆(25)的一端通过 驱动电机(26)驱动旋转， 所述驱动电机(26)安装在横移支座(24)上， 所述驱动轴杆(25)通 过花键安装有驱动齿轮(27)， 所述驱动齿轮(27)的上方设置有传动齿条(28)， 所述驱动齿 轮(27)和传动齿条(28)啮合， 所述传动齿条(28)安装在滑动基板(23)的底部 。 4.如权利要求3所述的一种基于石英基板材料的抛光工艺， 其特征在于， 所述横移支座 (24)的两端均嵌在滑动基板(23)内， 所述滑动基板(23)的两侧端面均设置有供横移支座 (24)横向移动的条 形凹槽(231)， 所述横移 支座(24)和条 形凹槽(231)适配。 5.如权利要求3所述的一种基于石英基板材料的抛光工艺， 其特征在于， 所述可调式抛 光机构(2)还包括驱动伞齿轮(29)、 从动伞齿轮(210)和从动轴杆(211)， 所述驱动伞齿轮 (29)通过花键安装在驱动轴杆(25)上， 所述 驱动伞齿轮(29)和从动伞齿轮(210)啮合， 所述 从动伞齿轮(210)通过花键安装在从动轴杆(211)上， 所述从动轴杆(211)通过轴承安装在 横移支座(24)上。 6.如权利要求5所述的一种基于石英基板材料的抛光工艺， 其特征在于， 所述可调式抛 光机构(2)还包括传动皮带(212)、 传动轴杆(213)、 可调式贴合组件(214)和抛光轮(215)， 所述传动轴杆(213)通过轴承安装在横移支座(24)上， 所述传动轴杆(213)通过传动皮带 (212)和皮带轮连接从动轴杆(211)， 所述传动轴杆(213)的下端安装有可调式贴合组件 (214)， 所述可调式贴合组件(214)上设置有抛光轮(215)， 所述抛光轮(215)用于贴合抛光 石英基板材 料。 7.如权利要求6所述的一种基于石英基板材料的抛光工艺， 其特征在于， 所述可调式贴权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115415922 A 2合组件(214)包括贴合基座(2141)、 旋转电机(2142)、 传动蜗杆(2143)、 传动蜗轮(2144)和 牵引轴杆(2145)， 所述贴合基座(2141)连接在传动轴杆(213)上， 所述贴合基座(2141)顶部 的内壁安装有旋转电机(2142)， 所述旋转电机(2142)的输出轴连接有传动蜗杆(2143)， 所 述传动蜗杆(2143)和传动蜗轮(2144)啮合， 所述传动蜗轮(2144)通过花键安装在牵引轴杆 (2145)上， 所述牵引轴杆(2145)通过轴承安装在贴合基座(2141)上。 8.如权利要求7所述的一种基于石英基板材料的抛光工艺， 其特征在于， 所述可调式贴 合组件(214)还包括联动滑块(2146)、 弧形内管(2147)、 弧形外管(2148)和定位基板 (2149)， 所述联动滑块(2146)安装在牵引轴杆(2145)上， 所述联动滑块(2146)的下端贯穿 贴合基座(2141)， 且 联动滑块(2146)连接抛光轮(215)， 所述联动滑块(2146)的两侧端面均 设置有弧形内管(2147)， 所述弧形内管(2147)位于弧形外管(2148)内， 且 弧形内管(2147) 和弧形外管(2148)活动 连接， 所述弧形外管(2148)连接在定位基板(2149)上， 所述定位基 板(2149)安装在贴合基座(2141)的内壁上。 9.如权利要求8所述的一种基于石英基板材料的抛光工艺， 其特征在于， 所述贴合基座 (2141)的底部设置有供联动滑块(2146)转动的限位通槽(21411)， 所述联动滑块(2146)和 限位通槽(2141 1)适配。 10.如权利要求9所述的一种基于石英基板材料的抛光工艺， 其特征在于， 所述可调式 抛光机构(2)对石英基板材 料进行贴合抛光的步骤为： 液压缸(22)启动， 液压缸(22)驱动滑动基板(23)在导向滑槽(211)内竖向移动， 滑动基 板(23)移动带动横移支座(24)、 可调式贴合组件(214)和抛光轮(215)移动， 直到抛光轮 (215)移动至贴合石英基板材 料； 驱动电机(26)启动， 驱动电机(26)带动驱动轴杆(25)和驱动齿轮(27)旋转， 由于驱动 齿轮(27)和传动齿条(28)啮合， 因此驱动齿轮(27)旋转驱动横移支座(24)在条形凹槽 (231)内横向移动， 横移 支座(24)移动带动可调式贴合组件(214)和抛光轮(215)移动； 驱动轴杆(25)旋转带动驱动伞齿轮(29)旋转， 驱动伞齿轮(29)旋转带动从动伞齿轮 (210)和从动轴杆(211)旋转， 从动轴杆(211)旋转带动传动皮带(212)、 传动轴杆(213)、 可 调式贴合组件(214)和抛光轮(215)旋转， 使旋转且移动的抛光轮(215)对石英基板材料进 行贴合抛光； 抛光轮(215)抛光过程中， 抛光不平整面时， 旋转电机(2142)启动， 旋转电机(2142)带 动传动蜗杆(2143)旋转， 使传动蜗轮(2144)和牵引轴杆(2145)转动， 牵引轴杆(2145)转动 带动联动滑块(2146)在弧形内管(2147)和弧形外管(2148)的配合协同作用下在限位通槽 (21411)内转动， 联动滑块(2146)转动带动抛光轮(215)转动， 使抛光轮(215)始终贴合石英 基板材料， 利用抛光轮(215)对石英基板材 料进行贴合抛光。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115415922 A 3