(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211179299.2 (22)申请日 2022.09.27 (71)申请人 眉山博雅 新材料股份有限公司 地址 620010 四川省眉山市东坡区金象化 工产业园区君 乐路3号 (72)发明人 王宇　余建琳　 (74)专利代理 机构 成都七星天知识产权代理有 限公司 5125 3 专利代理师 傅超 (51)Int.Cl. B24B 7/24(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 27/02(2006.01) (54)发明名称 一种抛光装置 (57)摘要 本说明书实施例提供一种抛光装置， 涉及磨 削技术领域， 抛光装置包括： 夹具， 用于吸附工 件； 驱动机构， 用于驱动夹具移动； 抛光盘， 用于 抛光工件； 其中， 抛光盘包括基座、 第一弹性层和 第二弹性层， 第一弹性层设置于基座与第二弹性 层之间， 第一弹性层的弹性模量小于第二弹性层 的弹性模量。 该抛光装置可提高超薄玻璃的抛光 效率， 并减少超薄玻璃抛光时的损伤。 权利要求书2页 说明书9页 附图5页 CN 115284097 A 2022.11.04 CN 115284097 A 1.一种抛光装置， 其特 征在于， 包括： 夹具， 用于吸附工件； 驱动机构， 用于驱动所述夹具移动； 抛光盘， 用于抛光所述工件； 其中， 所述抛光盘包括基座、 第 一弹性层和第 二弹性层， 所述第一弹性层 设置于所述基 座与所述第二弹性层之间， 所述第一弹性层的弹性模量小于所述第二弹性层的弹性模量。 2.如权利要求1所述的抛光装置， 其特征在于， 所述第 一弹性层沿垂直于抛光面的方向 的弹性模量与所述第二弹性层沿垂直于抛光面的方向的弹性模量的比值范围为11:17~1: 2。 3.如权利要求1所述的抛光装置， 其特征在于， 所述第 一弹性层沿垂直于抛光面的方向 的弹性模量的取值范围为3 5MPa~55MPa。 4.如权利要求1所述的抛光装置， 其特征在于， 所述第 二弹性层沿垂直于抛光面的方向 的弹性模量的取值范围为70 MPa~85MPa。 5.如权利要求1所述的抛光装置， 其特征在于， 所述第一弹性层的厚度取值范围为15mm ~25mm时， 所述第一弹性层的弹性模量取值范围为3 5MPa~55MPa。 6.如权利要求1所述的抛光装置， 其特征在于， 所述第 一弹性层沿垂直于抛光面的方向 的弹性模量小于沿平行于抛光 面的方向的弹性模量。 7.如权利要求1所述的抛光装置， 其特征在于， 所述第二弹性层包括纤维结构， 所述纤 维结构能够沿平行于抛光 面的方向伸展。 8.如权利要求1所述的抛光装置， 其特征在于， 所述夹具包括一个或多个第一孔， 所述 夹具通过 所述一个或多个第一 孔向所述夹具提供吸附所述工件的负压 。 9.如权利要求8所述的抛光装置， 其特征在于， 所述一个或多个第一孔的孔径范围为 0.3mm~1mm。 10.如权利要求8所述的抛光装置， 其特征在于， 所述一个或多个第一孔的孔径与所述 工件的厚度的比值的取值范围为3:1~4:1。 11.如权利要求8所述的抛光装置， 其特征在于， 所述一个或多个第一孔在所述夹具的 吸附面上均匀分布， 相邻的所述第一 孔之间的间距的取值范围为2m m~3.5mm。 12.如权利要求8所述的抛光装置， 其特征在于， 所述一个或多个第一孔中的至少一个 包括柔性膜， 所述 柔性膜覆盖所述 一个或多个第一 孔中的至少一个的吸附端。 13.如权利要求8~12任一项所述的抛光装置， 其特征在于， 所述夹具还包括气体接口， 所述一个或多个第一 孔与所述气体接口连通。 14.如权利要求13所述的抛光装置， 其特征在于， 所述夹具还包括一个或多个第 二孔和 存气腔， 所述一个或多个第二孔与所述存气腔的一端连通， 所述存气腔的另一端与所述气 体接口连通； 所述存气腔中设置有气量调节结构。 15.如权利要求14所述的抛光装置， 其特征在于， 所述气量调节结构包括活塞以及连接 所述活塞的弹性件， 所述弹性件处于初始状态时， 所述活塞与所述存气腔 中连通所述气体 接口的一端之间具有预设距离 。 16.如权利要求15所述的抛光装置， 其特征在于， 所述预设距离不小于所述存气腔长度 的一半。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115284097 A 217.如权利要求14所述的抛光装置， 其特征在于， 所述一个或多个第 二孔在所述夹具的 吸附面上均匀分布。 18.如权利要求13所述的抛光装置， 其特征在于， 所述夹具包括一个或多个阀门， 所述 一个或多个阀门控制所述气体接口 的开闭。 19.如权利要求17 所述的抛光装置， 其特 征在于， 所述阀门的数量包括两个。 20.如权利要求1所述的抛光装置， 其特 征在于， 所述抛光装置还 包括抛光液 过滤网。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115284097 A 3