(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211122722.5 (22)申请日 2022.09.15 (71)申请人 中环领先半导体材 料有限公司 地址 214000 江苏省无锡市宜兴经济技 术 开发区东氿大道 (72)发明人 韩志宇　吴延　张超仁　黄春峰　 (74)专利代理 机构 苏州高专知识产权代理事务 所(特殊普通 合伙) 32474 专利代理师 冷泠 (51)Int.Cl. B24B 41/06(2012.01) B24B 41/00(2006.01) H01L 31/18(2006.01) (54)发明名称 一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工 装 (57)摘要 本发明公开了一种方便无蜡抛光取片避免 产品蹭伤的工装， 包括车架， 所述车架的顶部设 置有水箱， 所述水箱内部的一侧设置有底座， 所 述底座的顶部通过垫片设置有底板， 所述底板上 设置有自上而下的水溢出槽， 所述水溢出槽之间 设有互通的水溢出孔。 该一种方便无蜡抛光取片 避免产品蹭伤的工装， 工装整体结构稳定， 员工 操作简易， 工装侧板与后板的设计， 可 以有效的 减少硅片装片过程时， 与侧板的摩擦， 减少装片 过程中的硅片异常受损和边缘受损， 便于从后侧 间取硅片碎片， 底板溢水设计， 可方便取湿硅片， 可以很好的解决在没有下料台时的硅片下料问 题， 减少破片率， 提高生产效率， 达到了自动下料 设备的设计要求， 并相对 减少了投入成本 。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 115488764 A 2022.12.20 CN 115488764 A 1.一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装， 包括车架(7)， 其特征在于： 所述车架 (7)的顶部设置有水箱(5)， 所述水箱(5)内部的一侧设置有底座(3)， 所述底 座(3)的顶部通 过垫片设置有底板(10)， 所述底板(10)上设置有自上而下的水溢出槽， 所述水溢出槽之间 设有互通的水溢出孔， 所述底板(10)两侧的底 座(3)上分别设有侧板(6)， 所述底座(3)上设 有通孔(11)， 所述通孔(11)与水溢出孔相对应。 2.根据权利要求1所述的一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装， 其特征在于： 所 述水箱(5)的内侧靠 近中间位置设置有隔断板(1)， 且隔断板(1)的表面设置有导 流孔(14)。 3.根据权利要求1所述的一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装， 其特征在于： 所 述车架(7)的底部靠近四个边角处皆设置有支撑杆(8)， 所述车架(7)一侧的支撑杆(8)两侧 底部皆设置有万 向减震轮(9)， 且车架(7)另一侧的支撑杆(8)两侧底部皆设置有定向减震 轮(15)。 4.根据权利要求1所述的一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装， 其特征在于： 所 述水箱(5)的底部设置有排水 管(4)， 且排水 管(4)上皆设置有控制阀门(13)。 5.根据权利要求1所述的一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装， 其特征在于： 所 述水箱(5)的一侧表面设置有扶手(12)， 且扶手(12)的表面设置有防滑纹路(2)。 6.根据权利要求1所述的一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装， 其特征在于： 所 述车架(7)采用38* 38不锈钢方钢材质， 所述水箱(5)的主架材质采用透明pvc 板。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115488764 A 2一种方便无 蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装 技术领域 [0001]本发明涉及半导体硅片制造技术领域， 具体为一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭 伤的工装。 背景技术 [0002]在米粒大的硅片上， 已能集成16万个晶体管， 这是科学技术进步的又一个里程碑， 地壳中含量达25.8 ％的硅元素， 为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉， 由于硅元素是地 壳中储量最丰富的元素之一， 对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言， 储量 的优势也是硅成为光伏主要材料 的原因之一， 硅片在生产加工完成后， 需要将硅片存放在 片篮中进行储 存放置。 [0003]硅片制作工艺包括滚磨， 沾棒， 线切， 倒角， 研磨， 酸碱腐， 退火， 抛光等工艺； 在无 蜡抛光工艺完成后， 下料一般依靠人工取片进行下料， 这样的生产过程不仅提高了人工成 本， 同时由于人手直接接触硅片， 会导致晶片剥离的时候降低产品质量， 并且提高了生产过 程中的蹭 伤率， 现有的自动下料辅助设备， 结构复杂， 使用成本高， 硅片下料过程中易受损， 造成硅落异常。 发明内容 [0004]本发明的目的在于提供一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装， 以解决上述 背景技术中提出的现有自动下料辅助设备， 结构复杂， 使用成本高， 硅片下料过程中易受 损， 造成硅落异常的问题。 [0005]为实现上述目的， 本发明提供如下技术方案： 一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭 伤的工装， 包括车架， 所述车架的顶部设置有水箱， 所述水箱内部的一侧设置有底座， 所述 底座的顶部通过垫片设置有底板， 所述底板上设置有自上而下的水溢出槽， 所述水溢出槽 之间设有互通的水溢出孔， 所述底板两侧的底座上分别设有侧板， 所述底座上设有通孔， 所 述通孔与水溢出孔相对应。 [0006]优选的， 所述水箱的内侧靠近中间位置设置有隔断板， 且隔断板的表面设置有导 流孔。 [0007]优选的， 所述车架的底部靠近四个边角处皆设置有支撑杆， 所述车架一侧的支撑 杆两侧底部皆设置有万向减震轮， 且车架另一侧的支撑杆两侧底部皆设置有定向减震轮。 [0008]优选的， 所述水箱的底部设置有排水 管， 且排水 管上皆设置有控制阀门。 [0009]优选的， 所述水箱的一侧表面设置有扶手， 且扶手的表面设置有防滑纹路。 [0010]优选的， 所述车架采用38*38不锈钢方钢材质， 所述水箱的主架材质采用透明pvc 板。 [0011]与现有技 术相比， 本发明的有益效果是： [0012]该一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装， 在进行日常使用的过程中， 工装 整体结构稳定， 员工操作简易， 工装侧板与后板的设计， 可以有效的减少硅片装片过程时，说　明　书 1/3 页 3 CN 115488764 A 3