(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211151277.5 (22)申请日 2022.09.21 (71)申请人 申集半导体科技 （徐州） 有限公司 地址 221000 江苏省徐州市邳州市邳州经 济开发区辽河路以北华山路以西半导 体材料和设备产业园C2号厂房 (72)发明人 刘超　李中云　 (74)专利代理 机构 北京和联顺知识产权代理有 限公司 1 1621 专利代理师 刘洪彪 (51)Int.Cl. B24B 9/06(2006.01) B24B 41/00(2006.01) B24B 41/04(2006.01) B24B 41/06(2012.01)B24B 47/12(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆边 缘抛光装置及其抛光方法 (57)摘要 本发明涉及一种晶圆边缘抛光装置及其抛 光方法， 包括用于对整体各部件进行承载与定位 的基座， 并进一步包括传输组件、 抛光组件和出 料组件三个部分。 传输组件包括一端与基座相 连， 用于对工件进行传送的上料机构； 架设于上 料机构一侧的取料机构。 抛光组件包括一端与基 座相连， 用于对抛光组件整体定位的支柱； 与支 柱相连， 用于进行抛光作业的抛光机构。 出料组 件包括一端与基座相连， 用于对工件进行承接的 承接机构； 与承接机构相连的出料机构。 传输组 件、 抛光组件和出料组件均为多个， 可同时进行 多向上料与出料， 有效提升抛光作业的整体效 率。 取料机构设有风机， 可对抛光过程中的抛光 飞尘进行吹送引向， 避免飞尘对晶圆表面造成损 伤与污染。 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 CN 115365935 A 2022.11.22 CN 115365935 A 1.一种晶圆边缘抛光装置， 包括用于对整体各部件进行承载与定位的基座， 其特征是 还包括： 传输组件， 包括一端与所述基座相连， 用于对工件进行传送的上料机构； 架设于所述上 料机构一侧的取 料机构； 抛光组件， 包括一端与所述基座相连， 用于对所述抛光组件整体定位的支柱； 与所述支 柱相连， 用于进行 抛光作业的抛光机构； 出料组件， 包括一端与所述基座相连， 用于对工件进行承接的承接机构； 与所述承接机 构相连的出 料机构； 所述传输组件、 抛光组件和所述出 料组件均为多个， 可进行多向同时运作； 所述取料机构设有风机， 可对抛光过程中的飞屑进行引向。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆边 缘抛光装置， 其特 征在于， 所述上 料机构包括： 定位柱， 置于所述基座的一侧， 并与所述基座存在预定的距离， 用于提供预定的支撑 力； 传送板， 与所述定位柱相连， 且表面覆盖有传送履带， 用于对所要进行抛光的晶圆进行 传送； 接料平台， 置于所述传送板传送方向末端处， 用于对经由所述传送板传送的晶圆进行 接收。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆边 缘抛光装置， 其特 征在于， 所述取 料机构包括： 罩壳， 置于所述基座作业面表面， 中空且具有预定的收容性， 用于对所述取料机构的各 部件进行承载和限位； 第一伸缩杆， 置于所述罩壳中空腔室上壁面处， 可沿与所述罩壳上壁垂直方向进行往 复伸缩运动； 第一吸盘， 与所述伸缩杆作业方向下端相连， 用于对晶圆进行吸附； 所述第一吸盘与所述接料平台作业位置相对， 可对经由所述接料平台作业面表面的晶 圆进行吸附； 所述罩壳中空腔室内壁 面设有风机， 用于对抛光过程中所产生的飞尘进行吹风引向。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆边 缘抛光装置， 其特 征在于， 所述抛光机构包括： 固定柱， 一端与所述基座相连， 用于对所述抛光机构进行整体的定位与各部件的承载； 旋转电机， 与所述固定柱的另一端相连， 用于为所述抛光机构提供 预定的驱动力； 抛光柱， 通过滚轴轴承与所述旋转电机相连， 可在所述旋转电机驱动下进行全方位转 动。 5.根据权利要求 4所述的一种晶圆边 缘抛光装置， 其特 征在于： 所述抛光组件为多个， 并对称式分布； 多个所述抛光柱之间通过抛光履带相互连通； 所 述抛光柱为 “工”字型， 所述抛光履带 可跟随所述抛光柱的转动而转动。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆边 缘抛光装置， 其特 征在于， 所述承接 机构包括： 承接柱， 一端与所述基座相连， 用于所述承接 机构的整体定位与各部件 承载； 承接板， 与所述承接柱的另一端相连， 且成 “凹”字形， 用于对经由所述抛光组件处理后 的工件进行承接； 推板， 置于所述承接板一侧， 并与所述承接板存在预定的距离， 用于对所述承接板所承权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115365935 A 2接的晶圆进行推送。 7.根据权利要求1所述的一种晶圆边 缘抛光装置， 其特 征在于， 所述出 料机构包括： 支撑柱， 一端与所述基座相连， 用于所述出料机构的整体定位与各部件之间的相互连 通； 出料板， 与所述支撑柱的另一端相连， 用于对经由所述承接机构承接后的晶圆进行出 料传送； 回收台， 与所述出料板相连， 具有预定的收容性， 用于对抛光处理完成后的晶圆进行回 收处理。 8.根据权利要求3所述的一种晶圆边 缘抛光装置， 其特 征在于： 与所述取料机构相对应位置处设有辅料机构， 所述辅料机构包括滑动组、 第二伸缩杆 和第二吸盘； 所述滑动组置于所述基座作业面表 面， 可沿所述基座作业面表进 行滑动调节； 所述第二伸缩杆与所述滑动组相连， 可跟随所述滑动组的滑动而移动； 所述第二吸盘与所 述第二伸缩杆相连， 用于与所述第一吸盘相互配合， 对晶圆进行吸附。 9.根据权利要求8所述的一种晶圆边 缘抛光装置的抛光方法， 其特 征在于： 所述第一伸缩杆与所述罩壳滑动连接， 可沿所述罩壳作业面表面进行滑动调节； 所述 第一吸盘、 第二吸盘均通过轴承与所述第一伸缩杆、 第二伸缩杆对应相连， 使得所述第一吸 盘可绕与所述第一伸缩杆的连接点进 行转动， 所述第二吸盘可绕与所述第二伸缩杆的连接 点进行转动。 10.根据权利要求1至9中任一项所述的一种晶圆边缘抛光装置的抛光方法， 其特征在 于包括以下步骤： S1、 将所要进行抛光的晶圆放置于传送板作业面表面进行传送， 传送至接料平台处停 止传送； S2、 第一伸缩杆沿罩壳作业面表面向靠近接料平台的方向滑动， 移动至与接料平台相 对应位置处停止滑动； 伸缩杆向靠近晶圆的方向伸展， 而后第一吸盘将晶圆吸附住， 完成取 料作业； S3、 第一伸缩杆再次沿罩壳作业面表面滑动， 滑动至与第二伸缩杆相对应位置处停止 滑动； 第二伸缩杆向靠近第一伸缩杆的方向进行伸展， 而后第二吸盘配合第一吸盘将晶圆 吸附住； S4、 而后第一伸缩杆与第二伸缩杆均向抛光组件滑动， 当滑动至与抛光组件相对应位 置处停止滑动， 而后第一吸盘与第二吸盘转动带动晶圆转动， 完成对晶圆边 缘的抛光作业； S5、 完成抛光作业后， 第一伸缩杆与第二伸缩杆向靠近出料组件的方向滑动， 而后第一 吸盘松开， 第二吸盘将晶圆继续向靠近出料板的方向滑动， 并通过推板将晶圆推送至出料 板作业面表面， 并最终通过 出料板传送至回收台进行回收； S6、 以此类 推， 依次重复S1至S5 工作， 直到系统停止 工作。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115365935 A 3