(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 2021232890 06.X (22)申请日 2021.12.24 (73)专利权人 无锡鼎炻电子 工程有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区国家高 新技术产业开发区93号 地块A1号厂房 (72)发明人 王健　 (74)专利代理 机构 无锡派尔特知识产权代理事 务所(普通 合伙) 32340 专利代理师 杨强　杨立秋 (51)Int.Cl. B08B 9/28(2006.01) B08B 13/00(2006.01) B01D 35/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种石墨舟清洗装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种石墨舟清洗装置， 括 底板、 设置在底板上的加工箱以及设置在底板底 部的水箱， 所述加工箱的内部设置有加工槽， 所 述加工槽的内壁上对称设置有侧板， 所述侧板上 活动设置有喷水架， 所述加工槽的内部顶端面上 活动设置有夹持架， 所述夹持架与设置在加工箱 外侧的导架活动配合， 所述水箱的内部设置有与 加工槽连通的集污室， 所述集污室与加工槽的连 通处设置有防溅板， 所述集污室的内部设置有 过 滤室， 所述过滤室的旁侧设置有净水室， 所述底 板的底部设置有支腿， 所述水箱的外壁上设置有 进水管， 所述水箱的一侧端面设置有密封板。 该 石墨舟清洗装置， 结构简单， 清洗效果好， 且易于 实现， 可广泛推广。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216728687 U 2022.06.14 CN 216728687 U 1.一种石 墨舟清洗装置， 包括底板(1)、 设置在底板(1)上的加工箱(107)以及设置在底 板(1)底部的水箱(102)， 其特征在于： 所述加工箱(107)的内部设置有加工槽(10)， 所述加 工槽(10)的内壁上对称设置有侧板(125)， 所述侧板(125)上活动设置有喷水架(129)， 所述 加工槽(10)的内部顶端面上活动设置有夹持架(11)， 所述夹持架(11)与设置在加工箱 (107)外侧的导架(108)活动配合， 所述水箱(102)的内部设置有与加工槽(10)连通的集污 室(100)， 所述集污室(100)与加工槽(10)的连通处设置有防溅板(121)， 所述集污室(100) 的内部设置有过 滤室(122)， 所述过 滤室(122)的旁侧设置有净 水室(123)。 2.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗装置， 其特征在于： 所述底板(1)的底部设置 有支腿(101)， 所述水箱(102)的外壁上设置有进水管(105)， 所述水箱(102)的一侧 端面设 置有密封 板(103)。 3.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗装置， 其特征在于： 所述加工箱(107)的外壁 上设置有与水箱(102)连通的第一输水管(104)、 第二输水管(106)， 所述第一输水管(104) 与设置在水箱(102)内部的储 水室(120)连通， 所述第二输水管(106)通过抽水管(124)与净 水室(123)连通。 4.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗装置， 其特征在于： 所述侧板(125)的外壁上 开设有凹槽， 且凹槽的内部设置有滑动杆(126)， 所述滑动杆(126)的外壁上活动设置有滑 块(127)， 所述滑块(127)上安装有与喷水架(129)连接的伸缩 杆(128)， 所述喷水架(129)的 外壁上设置有 多个喷头(1 19)。 5.根据权利要求1所述的一种 石墨舟清洗装置， 其特征在于： 所述夹持架(11)包括连接 杆(112)、 旋转座(113)和固定板(114)， 所述连接杆(112)上设置有滑动 块(111)， 所述滑动 块(111)上开设有螺纹孔(110)， 所述固定板(114)的外壁上通过两根推杆(115)活动连接有 夹板(116)， 所述夹板(116)与固定板(114)相向的一侧端面上均通过压簧(118)安装有压块 (117)。 6.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗装置， 其特征在于： 所述导架(108)的旁侧对 称设置有卡板， 且卡板上活动设置有隔板(109)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216728687 U 2一种石墨舟清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于太阳能电池制备技 术领域， 具体涉及一种石墨舟清洗装置 。 背景技术 [0002]等离子体增强化学气象沉积是硅太阳能电池制造工艺中不可缺少的一部分， 随着 PECVD技术的不 断改进， 管式PECVD在提高太阳能电池的效率上有了显著提高。 太阳能电池 片制作工艺中， P ECVD镀膜工序所用的石墨舟在运行过程中， 都会有氮 化硅附着在 石墨舟内 表面， 累计到一定厚度会影响电池片的镀膜效果， 因此需要定期把石墨舟表面的氮化硅清 洗掉。 [0003]现有的石墨舟清洗设备在使用时无法对不同大小的石墨舟进行夹持固定， 且在清 洗的过程中不能保证对石墨舟进 行全方位的清洗， 从而导致清洗效果较差， 为此， 提出一种 石墨舟清洗装置 。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种石墨舟清洗装置， 以解决上述背景技术中提出的 问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种石墨舟清洗装置， 包括底 板、 设置在底板上的加工箱以及设置在底板底部的水箱， 所述加工箱的内部 设置有加工槽， 所述加工槽的内壁上对称设置有侧板， 所述侧板上活动设置有喷水架， 所述加工槽的内部 顶端面上活动设置有夹持架， 所述夹持架与设置在加工箱外侧的导架活动配合， 所述水箱 的内部设置有与加工槽连通的集污室， 所述集污室与加工槽的连通处设置有防溅板， 所述 集污室的内部设置有过 滤室， 所述过 滤室的旁侧设置有净 水室。 [0006]优选的， 所述底板的底部设置有支腿， 所述水箱的外壁上设置有进水管， 所述水箱 的一侧端面设置有密封 板。 [0007]优选的， 所述加工箱的外壁上设置有与水箱连通的第一输水管、 第二输水管， 所述 第一输水 管与设置在水箱内部的储水室连通， 所述第二输水 管通过抽水 管与净水室连通。 [0008]优选的， 所述侧板的外壁上开设有凹槽， 且凹槽的内部设置有滑动杆， 所述滑动杆 的外壁上活动设置有滑块， 所述滑块上安装有与喷水架连接的伸缩杆， 所述喷水架的外壁 上设置有 多个喷头 。 [0009]优选的， 所述夹持架包括连接杆、 旋转座和固定板， 所述连接杆上设置有滑动块， 所述滑动块上开设有螺纹孔， 所述固定板的外壁上通过两根推杆活动连接有夹板， 所述夹 板与固定 板相向的一侧端面上均通过压簧 安装有压块。 [0010]优选的， 所述 导架的旁侧对称设置有卡板， 且卡板上活动设置有隔板 。 [0011]本实用新型的技 术效果和优点： [0012](1)该石墨舟清洗装置， 通过在集污室的内部设置过滤室， 在清洗的过程中利用过 滤室对污水进行 净化处理， 以便于对水资源进行循环利用。说　明　书 1/3 页 3 CN 216728687 U 3