ICS 31.550 CCS L 95 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11829.1—2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1部分：管式PECVD设备 Plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) equipment used for crystallinesiliconphotovoltaiccells-Part1:TubularPECVDequipment 2022-10-20发布 2023-01-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T11829.1—2022 次目前言范围规范性引用文件 2 3 术语和定义型号命名工作环境和工作条件 5 要求 6 3 检验方法. 8 检验规则 10 9 标志、包装 11

SJ-T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积 PECVD 设备第1部分管式PECVD设备

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SJ-T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积 PECVD 设备 第1部分 管式PECVD设备

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