ICS 71.100.20 G 86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 18867—2014 代替GB/T18867—2002 电子工业用气体 六氟化硫 Gases for electronic industry-Sulphur hexaflouride 2014-12-22发布 2015-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T188672014 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准代替GB/T18867—2002《电子工业用气体六氟化硫》。与GB/T18867—2002相比，除编 辑性修改外主要技术变化如下： 修改了范围（见第1章，2002年版的第1章）； 修改了规范性引用文件（见第2章，2002年版的第2章）； 修改了技术指标（见第3章，2002年版的第3章）； 修改了抽样、判定和复验（见4.1，2002年版的第5章）； 修改了氧十氩、氮、四氟化碳、二氧化碳含量的测定方法（见4.3,2002年版的4.2、4.3）； 删除了六氟乙烷、八氟丙烷含量的测定方法（见2002年版的4.4）； 增加了一氧化碳和甲烷含量的测定方法（见4.3）； 修改了标志、包装、贮运及安全（见第5章，2002年版的第6章）。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口 本标准起草单位：黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高 精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司、四川众力氟业有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限 公司、大连大特气体有限公司、四川中测标物科技有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、光明化工研究 设计院、上海基量标准气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、核工业理化工程研究院华核新技 术开发公司。 本标准主要起草人：黄晓磊、牛学坤、赖明贵、傅涛、刘长庆、任清贵、史淑慧、方正、廖恒易、李晓明、 曲庆、杨任、常侠、杨遂平、邓建平、方华、周鹏云。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： GB/T 18867—2002。 1 GB/T 18867—2014 电子工业用气体 六氟化硫 1范围 本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。 本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学 气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。 分子式：SF6。 相对分子质量：146.0564192（按2007年国际相对原子质量计算）。 规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099钢质无缝气瓶 GB/T5832.1气体湿度的测定第1部分：电解法 GB/T5832.3气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法 GB 7144 气瓶颜色标志 GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T12022工业六氟化硫 GB 14193 液化气体气瓶充装规定 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB16804 气瓶警示标签 GB/T26571特种气体储存期规范 GB/T28726一2012气体分析氮离子化气相色谱法 气瓶安全监察规程（2000版） 危险化学品安全管理条例（2002版） 3要求 六氟化硫的技术指标应符合表1要求。 表1技术指标 项目名称 指标 六氟化硫（SF）纯度（体积分数）/10-2 666'66 （氧十氩）（O，十Ar）含量（体积分数）/10- 2.0 氮（Nz）含量（体积分数）/10-6 2.0 1 GB/T 18867—2014 表1 (续) 项目名称 指标 四氟化碳（CF）含量（体积分数）/10 1.0 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 0.5 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 0.5 甲烷（CH4）（体积分数）/10-6 0.5 水分（H,O)含量（体积分数)/106 3.0 酸度（以HF计）（质量分数）/10-6 0.1 可水解氟化物（以HF计）含量（质量分数）/10-6 SZIG 0.8 总杂质含量（体积分数）/10-6 10.0 颗粒 供需双方协商 4 试验方法 4.1 抽样、判定和复验 4.1.1同一生产线连续稳定生产的六氟化硫构成一批，每批产品质量不超过2t。六氟化硫抽样瓶数按 表2规定从每批产品中随机抽样。当检验结果有任何一项不符合表1要求时，应自该批产品中重新加 倍抽样检验，若仍有一项指标不符合要求，则该批产品为不合格。 表2瓶装六氟化硫产品抽样表 每批产品瓶数 最少抽样瓶数 1~10 1 11~20 2 21~30 3 31~40 4 >40 5 4.1.2 六氟化硫产品中氧十氩、氮、水分含量应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合 本标准技术要求时，则判该产品不合格。 4.1.3 六氟化硫采样安全应符合GB/T3723的相关规定。 4.1.4 数值修约规则与极限数值的表示和判定按GB/T8170的规定执行 采样管线应采用不锈钢管或聚四氟乙烯管 4.1.5 4.1.6 检验样品应为液相取样。 4.2 六氟化硫纯度 六氟化硫纯度按式(1)计算： Φ=100-(Φ+Φ,+Φ+Φ,+Φ，+Φ。+Φ,)×10-4 .......(1) 2 GB/T18867—2014 式中： 一六氟化硫纯度（体积分数），10-； （氧十氩）含量（体积分数），10-； Φ2 氮含量（体积分数），10-； 四氟化碳含量（体积分数），10-"； Φ4 一氧化碳含量（体积分数），10-"； Φ。——二氧化碳含量（体积分数),10-"； Φ。——甲烷含量（体积分数），10-； Φ———水分含量（体积分数），10-。 4.3氧十氩、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定 按GB/T28726一2012规定的切割进样的方法测定六氟化硫中的氧十氩、氮、四氟化碳、一氧化碳、 二氧化碳、甲烷含量。 测定条件和步骤见附录A。 允许采用其他等效的方法测定六氟化硫中的氧十氩、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量。 当以上测定结果有异议时，GB/T28726规定的方法为仲裁方法 4.4水分含量的测定 按GB/T5832.3的规定执行。取样时应防止出现冷凝。 充许采用GB/T5832.1或其他等效的方法测定六氟化硫中的水含量。当测定结果有异议时， GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法。 4.5酸度含量的测定 按GB/T12022中的规定执行。 4.6 6可水解氟化物含量 按GB/T12022中的规定执行。 5标志、包装、贮运及安全 5.1标志、包装及购运 5.1.1六氟化硫的包装、标志、贮运应符合国家《气瓶安全监察规程》和《危险化学品安全管理条例》的 规定。 5.1.2包装六氟化硫的气瓶应符合GB5099的规定。 5.1.3推荐使用进行内表面处理的气瓶，气瓶内表面应满足本标准对于水分和颗粒的要求。瓶阀推荐 使用CGA590和CGA716。 5.1.4应防止瓶口被污染和泄漏。 5.1.5六氟化硫的充装应符合GB14193的相关规定。 5.1.6六氟化硫的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB7144的规定，标签应符合 GB16804、GB15258规定的要求 5.1.7包装容器上应标明“电子六氟化硫”字样 5.1.8瓶装六氟化硫的最大充装量按式（2）计算： 3